更新时间:2026-04-03
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温度控制:通过加热元件将压头加热到特定温度(通常 150-300℃)
压力施加:精密气缸或伺服电机提供均匀稳定的压力(05-5MPa)
时间控制:在设定温度和压力下保持特定时间(几秒钟到几十秒)
连接机制:利用热塑性材料(如 ACF 胶)受热软化后固化形成连接
高频振动:换能器产生 20-60kHz 的高频机械振动
摩擦生热:振动通过压头传递到连接处,产生局部摩擦热
金属键合:在压力和热量作用下,金属表面原子形成共价键
瞬间完成:通常在 01-1 秒内完成邦定过程
复合工艺:结合热压和超声波技术
温度较低:通常在 100-200℃,低于单纯热压
压力较小:减少对元器件的损伤
时间更短:提高生产效率
高精度温度传感器(PT100 或 K 型热电偶)
PID 温度控制器(精度 ±1℃)
加热元件(陶瓷加热片或电阻丝)
精密气缸或伺服电机
压力传感器和反馈系统
压力调节装置
高精度导轨和滑块
伺服电机驱动
位置传感器和编码器
CCD 相机和光学镜头
图像识别算法
自动对准控制
基板和芯片的清洁处理
ACF 胶的贴附(如使用)
预对位和固定
视觉系统识别标记点
自动计算偏移量
精确调整位置(精度 ±5μm)
压头下降接触工件
逐步升温到设定温度
施加设定压力
保持规定时间
停止加热,自然冷却或强制冷却
压力保持直到温度降低到安全范围
压头升起,完成邦定
实时温度监控和补偿
压力波动检测和调整
时间精确控制
自动不良品检测